Острый угол
Участки топологии сопрягаются под острым углом. При проявлении фоторезиста остроконечный участок может оторваться и прилипнуть в другом месте, образовав в итоге обрыв или заужение проводника. Проблемы возникают в диапазоне 0-35грд. Ошибка некритичная, т.к. при подготовке к производству острый угол будет принудительно скруглен. Если топология этого не допускает (СВЧ конструкции), необходимо доработать силами разработчика.
Тема:
Общие проверки
Похожие ошибки проектирования
Размер окна в маске меньше площадки
Размер окна в маске меньше площадки. Возможно это ошибка, т.к. при рассовмещении слоев топологии и…
Тема:
Проверка маски
Зазор в металломаркировке
Зазор в металломаркировке минимален. Изготовление ВОЗМОЖНО для 18мкм базовой фольги в интервале…
Тема:
Общие проверки
Зазор между элементами топологии, вскрытыми от маски
Зазор между элементами топологии, вскрытыми от маски минимален. В случае иммерсионных финишных…
Тема:
Общие проверки